Volframiruiskutuksen kohdetoimittaja
Yleiset metallikohteet ovat seuraavat:
Perinteiset metallikohteet: Magnesium Mg, mangaani Mn, rauta Fe, koboltti Co, nikkeli Ni, kupari Cu, sinkki Zn, lyijy Pd, tina Sn, alumiini Al
Pienet metallikohteet: indium, germanium Ge, gallium Ga, antimoni Sb, vismutti Bi, kadmium-Cd
Tulenkestävät metallikohdemateriaalit Titaani Ti, Zirkonium Zr, Hafnium Hf, Vanadiini V, Niobium Nb, Tantaali Ta, Kromi Cr, Molybdeeni Mo, Volframi W, Renium Re
Tungsten Sputtering Kohteen valmistus
Jalometallikohteet: kulta Au, hopea Ag, palladium Pd, platina Pt, iridium Ir, rutenium Ru, rodium Rh, osmium Os
Puolimetalliset kohteet: hiili C, boori B, telluuri Te, seleeni Se
Harvinaiset maametallikohteet gadolinium Gd, samarium Sm, dysprosium Dy, cerium Ce, yttrium Y, lantaani La, ytterbium Yb, erbium Er, terbium Tb, holmium Ho, tulium Tm, neodyymi Nd, praseodyymi Lu, skannaus lutetium Sc
Keraaminen kohde alumiinisinkkioksidi AZO, indiumtinaoksidi ITO, sinkkioksidi ZnO, alumiininitridi AlN, titaaninitridi TiN, boorinitridi BN, bariumtitanaatti BaTiO3, vismuttititanaatti BiTiO3, piikarbidi titaanikarbidi, tiiC , volframikarbidi WC, litiumniobaatti LiNbO3
Tungsten Sputtering Target tosiasia
Seoskohteita ovat kulta-tina-seos AuSn, kulta-germanium-nikkeliseos AuGeNi, sinkki-alumiinilejeerinki ZnAl, alumiini-kupariseos AlCu, koboltti-rauta-booriseos CoFeB, rauta-mangaani-seos FeMn, iridium-mangaani-irkoniini -titaaniseos ZrTi, nikkeli-kromiseos NiCr, kupari-indium galliumseos CuInGa, kuparisinkki tina rikkiseos CZTS
